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portada Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik (German Edition) [Soft Cover ] (in German)
Type
Physical Book
Publisher
Author
Language
German
Format
Paperback
ISBN13
9783658423773
Edition No.
0008

Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik (German Edition) [Soft Cover ] (in German)

Hilleringmann Ulrich (Author) · Springer Vieweg · Paperback

Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik (German Edition) [Soft Cover ] (in German) - Hilleringmann Ulrich

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Synopsis "Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik (German Edition) [Soft Cover ] (in German)"

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrö en bis zu wenigen Nanometern gleichmä ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.

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